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ccq型系列气动超高真空插板阀
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产品名称：ccq型系列气动超高真空插板阀
产品介绍：
ccq型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。



详细说明
► 主要技术性能
适用范围(pa)
105～1.3x10-7
阀门漏率(pa.l/s)
dn≤200为≤1.3x10-7
dn≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度（℃）

≤150(除传动装置外)

开阀时阀板两侧压力差(pa)
≤2.7x103
气源压力（mpa）0.4～0.6
电源电压
标准出厂：ac220v/50hz
特殊指定：ac110v；dc24v；dc12v等
信号反馈
标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：微动开关dc/ac5～240v
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► 连接及外形尺寸
型号
通径(dn)
尺寸


法兰尺寸
a
bcdehlφdφbφgφkn-df
ccq-63
63
130
64
110
54
170
66
368
114
92.2
82.4
77
8-m812
ccq-80
80
166
77
140
61
210
70
450
130
110
99
93
16-m8
ccq-100
100
186
160
72
230
70
490
152
130.3
120.6
115
ccq-150
150
234
207
96
307
78
626
202
181
171.4
166
20-m815
ccq-200
200
280
254
121
382
80
750
253
231.8
222.1
217
24-m8
ccq-250
250
342
80
312
148
462
92
812
305
284
273.1
267
32-m8
ccq-320
320
449
120
425
212.5
667.5
112
1072
425
395
326.4
320
32-m1018

 

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